壓阻式壓力傳感器簡介 壓阻式壓力傳感器工作原理、特點介紹
2016/10/11 13:30:00
壓阻式壓力傳感器利用單晶硅的壓阻效應(yīng)而構(gòu)成,又稱擴散硅壓力傳感器。壓阻式傳感器廣泛地應(yīng)用航天、航空、航海、石油化工、動力機械、生物醫(yī)學工程、氣象、地質(zhì)、地震測量等各個領(lǐng)域。
壓阻式壓力傳感器采用單晶硅片為彈性元件,在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝,在單晶硅的特定方向擴散一組等值電阻,并將電阻接成橋路,單晶硅片置于傳感器腔內(nèi)。
當壓力發(fā)生變化時,單晶硅產(chǎn)生應(yīng)變,使直接擴散在上面的應(yīng)變電阻產(chǎn)生與被測壓力成比例的變化,再由橋式電路獲得相應(yīng)的電壓輸出信號。
壓阻式壓力傳感器具有精度高、工作可靠、頻率響應(yīng)高、遲滯小、尺寸小、重量輕、結(jié)構(gòu)簡單、便于實現(xiàn)顯示數(shù)字化等特點,而且可以測量壓力,稍加改變,還可以測量差壓、高度、速度、加速度等參數(shù)。
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