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應(yīng)用設(shè)計

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【應(yīng)用案例】總線閥島應(yīng)用于硅晶片研磨設(shè)備

【應(yīng)用案例】總線閥島應(yīng)用于硅晶片研磨設(shè)備

2024/3/7 17:43:12

單晶襯底研磨示意圖

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AU7 1123系列閥島產(chǎn)品結(jié)構(gòu)標識如下:

總線閥島強大的擴展能力,支持擴展AU7 500系列臥式模塊:

AU7 1123系列閥島分有8/12/16三種點位規(guī)格,均支持雙閥和單閥,本體集成16DI和16組傳感器供電電源。

目前支持三大品牌九個系列電磁閥

閥島訂貨號:AU7 1123-xxx08-PNT

xxx 表示支持的電磁閥類型

① SY5—SMC SY5X20系列

② SY3—SMC SY3X20系列

③ F14--VUVG-LK14系列(1023系列支持)

④ F10--VUVG-LK10系列

⑤ 4V1--AirTAC 4V1xx-06B系列

⑥ 5V1--AirTAC 5V1xx-06B系列

⑦ 7V1--AirTAC 7V110/120/130-06B系列

⑧ 4V2-- AirTAC 4/5V2xx-06/08B系列


華茂歐特除了常規(guī)款總線閥島,還推出一款經(jīng)濟型總線閥島,本體不帶DI點位,同樣通過WellAUBUS總線支持擴展16個模塊/閥島,支持與1123系列閥島混合擴展。

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王靜
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