【應(yīng)用案例】總線閥島應(yīng)用于硅晶片研磨設(shè)備
2024/3/7 17:43:12
單晶襯底研磨示意圖
AU7 1123系列閥島產(chǎn)品結(jié)構(gòu)標識如下: 總線閥島強大的擴展能力,支持擴展AU7 500系列臥式模塊:
目前支持三大品牌九個系列電磁閥
閥島訂貨號:AU7 1123-xxx08-PNT
xxx 表示支持的電磁閥類型 |
① SY5—SMC SY5X20系列 |
② SY3—SMC SY3X20系列 |
③ F14--VUVG-LK14系列(1023系列支持) |
④ F10--VUVG-LK10系列 |
⑤ 4V1--AirTAC 4V1xx-06B系列 |
⑥ 5V1--AirTAC 5V1xx-06B系列 |
⑦ 7V1--AirTAC 7V110/120/130-06B系列 |
⑧ 4V2-- AirTAC 4/5V2xx-06/08B系列 |
審核編輯(
王靜
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