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為半導體關鍵設備聯(lián)接“保駕護航” ——魏德米勒重載接插件解決方案在PVD鍍膜設備中的應用

為半導體關鍵設備聯(lián)接“保駕護航” ——魏德米勒重載接插件解決方案在PVD鍍膜設備中的應用

2024/11/13 10:27:49

我國半導體設備領域長期受國外技術封鎖與壟斷,加快自主研發(fā)勢在必行。諸多國內(nèi)半導體設備廠商強勢崛起,如某領先集成電路與真空儀器設備廠商,秉持 “引領真空技術,支撐科技創(chuàng)新,促進產(chǎn)業(yè)發(fā)展” 使命,為關鍵設備國產(chǎn)化貢獻卓著。

項目挑戰(zhàn)

該客戶研制的 PVD 鍍膜設備,系半導體工藝國產(chǎn)化重要成果。為精準把控蒸發(fā)或濺射的溫度、壓力、時間等工藝參數(shù),客戶需將設備的傳感器、控制器、繼電器、電源等電氣自動化元件相聯(lián)接,以實現(xiàn)電力、信號與數(shù)據(jù)傳輸。針對關鍵電氣聯(lián)接部位的重載接插件,該客戶著重考量的因素涵蓋:

●如何滿足設備運行環(huán)境的要求

(1)PVD鍍膜過程中產(chǎn)生的化學氣體或蒸氣往往對電氣材料產(chǎn)生腐蝕;

(2)在一些特定的鍍膜工藝中,可能會產(chǎn)生高溫和高壓。

●如何提高機械性能穩(wěn)定性

PVD設備運行過程中,連接器需要頻繁承受影響穩(wěn)定性的機械應力,如振動、沖擊、插拔等。

如何適應機柜設計,快速完成效果測試

如何根據(jù)電氣柜空間設計要求采用合適的重載聯(lián)接技術,并通過不同的連接器出線方式快速滿足設備測試要求,是客戶的又一困擾所在。

該客戶需要匹配的重載接插件解決方案以解決上述電氣柜聯(lián)接項目遇到的挑戰(zhàn),并滿足半導體終端客戶對PVD鍍膜設備的高標準要求。經(jīng)過多方考量,最終找到了經(jīng)驗豐富的電聯(lián)接專家——魏德米勒。

解決方案

考慮到上述要求,魏德米勒憑借專業(yè)的技術能力和快速的服務能力,為客戶的PVD真空鍍膜設備項目提供了一套精準適用的重載接插件解決方案。

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●高防護設計

(1)采用壓鑄鋁制成,其 IP65 / NEMA型 4X 外殼,防塵、防潮、防腐蝕;

(2)可在-40°C至+125°C的寬溫度范圍工作;

(3)防電磁干擾,可安全傳輸高達35A的電流以及高達830V的電壓。

●抗機械壓力性能

(1)清晰的聯(lián)鎖系統(tǒng)采用不銹鋼制成,通過獨有的專利保護的彈簧系統(tǒng)為接插件外殼聯(lián)鎖提供緊密接合,防止意外打開;

(2)堅固的機械結構能夠承受設備振動、沖擊和機械應力。

●快速溝通響應和效果測試

魏德米勒與客戶進行了深入詳細的溝通,根據(jù)客戶電氣柜設計的特殊要求,為分源端和目標端的兩路重載都提供了頂出和側出兩種出線方案,并迅速進行了實際效果測試。

客戶的益處

采用魏德米勒的重載接插件解決方案后,該客戶的PVD真空鍍膜設備研制項目得以順利實施,并獲得了一系列重要收益:

●終端客戶使用更為放心

通過高防護設計的重載接插件解決方案,該客戶大大提升了設備運行的安全可靠性,為其終端客戶提供了腐蝕、高溫等工藝環(huán)境下的安心之選。

●提升設備性能和競爭力

基于魏德米勒重載接插件解決方案出色的機械性能,PVD真空鍍膜設備的電氣自動化系統(tǒng)獲得了更加穩(wěn)定可靠的聯(lián)接能力,為解決半導體設備國產(chǎn)化進程中的卡脖子問題貢獻一己之力。

●快速完成選型、調(diào)試和交付

基于魏德米勒專業(yè)的咨詢和定制方案服務能力,大大簡化了前期咨詢和選型過程,快速找到符合客戶電氣柜設計需求的聯(lián)接方案。在交期緊張的情況下,僅用1周就完成了效果測試。

最終效果

隨著半導體國產(chǎn)化進程加快,對關鍵半導體設備的要求也越來越高,魏德米勒憑借強大的本地化定制服務能力,持續(xù)為客戶提供設備的電氣聯(lián)接項目保駕護航,為關鍵國產(chǎn)化設備的崛起提供助力。

關于魏德米勒 

作為經(jīng)驗豐富的工業(yè)聯(lián)接專家,魏德米勒為全球客戶和合作伙伴提供關于工業(yè)環(huán)境中的電力、信號和數(shù)據(jù)方面的產(chǎn)品、解決方案和服務。成立170余年來,魏德米勒集團公司至今已在全球設立多家分支機構,包括研發(fā)中心、生產(chǎn)基地和銷售公司。

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1994年魏德米勒與中國結緣,開始了在中國市場的高速發(fā)展。在華深耕30載,魏德米勒始終秉持著“在中國,‘魏’中國”理念,堅持以本土客戶為本,在上海和蘇州設有兩大卓越研發(fā)中心,進行電子產(chǎn)品和電氣聯(lián)接產(chǎn)品的研發(fā)和技術創(chuàng)新。位于蘇州的工廠于2019年升級擴建,通過高度自動化及數(shù)字化生產(chǎn),確保了生產(chǎn)的高效和產(chǎn)品的卓越品質(zhì)。魏德米勒牢牢把握行業(yè)發(fā)展脈搏,在專注于傳統(tǒng)行業(yè)需求的同時,持續(xù)加大在中國新基建、鋰電、光伏、風電、半導體等新興行業(yè)的投入,賦能行業(yè)發(fā)展,助力更多客戶及合作伙伴直面挑戰(zhàn),應對未來發(fā)展。

審核編輯(
王靜
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