在全球科技競爭加劇的背景下，美國對國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)制裁加速，涉及超過100家實體企業(yè)，覆蓋了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈多個制造環(huán)節(jié)，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化迫在眉睫。

從光刻機(jī)到刻蝕機(jī)，從清洗設(shè)備到檢測設(shè)備，半導(dǎo)體制造設(shè)備的每一個核心部件都需要逐步實現(xiàn)國產(chǎn)替代，而開關(guān)電源作為設(shè)備中不可或缺的電力供應(yīng)單元，自然也成為了國產(chǎn)化的重要組成部分。

作為半導(dǎo)體設(shè)備的"心臟"，開關(guān)電源的國產(chǎn)化替代需求日益凸顯。越來越多的設(shè)備廠商開始轉(zhuǎn)向高性能、高可靠性的國產(chǎn)電源方案，這不僅是應(yīng)對供應(yīng)鏈風(fēng)險的必要舉措，更是提升產(chǎn)業(yè)自主性的關(guān)鍵一步。

一、 半導(dǎo)體行業(yè)制造設(shè)備中的應(yīng)用特點

（1）SEMI F47認(rèn)證：保障半導(dǎo)體設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行

SEMI F47是半導(dǎo)體設(shè)備的重要測試認(rèn)證，如PSL電壓瞬降和暫升測試等，主要就是考驗其設(shè)備電源的穩(wěn)定性，符合F47認(rèn)證有利于提高設(shè)備的可靠性和穩(wěn)定性。

（2）高精度電壓控制、低紋波噪聲

半導(dǎo)體制造設(shè)備內(nèi)部控制板等負(fù)載，需開關(guān)電源提供極其精確的電壓控制，同時低紋波噪聲的控制，可保證負(fù)載不受干擾而影響精度。

（3）快速動態(tài)響應(yīng)、瞬態(tài)過功率能力

設(shè)備負(fù)載變化頻繁且迅速，快速響應(yīng)能有效防止電壓波動，電機(jī)等負(fù)載也需要高瞬態(tài)過功率能力。

（4）高可靠性、長壽命

設(shè)備工業(yè)級別，且不間斷工作，故對內(nèi)部的電源需具備高可靠性和長壽命，如MTBF（平均無故障時間）超過10萬小時、工業(yè)級別工作溫度、優(yōu)良的EMC性能、寬輸入的電壓范圍等，甚至部分應(yīng)用需要電源符合防爆認(rèn)證的設(shè)計。

二、 半導(dǎo)體制造設(shè)備解決方案典型案例

等離子刻蝕機(jī)

等離子刻蝕機(jī)是等離子刻蝕機(jī)是半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵設(shè)備，可用于制造微處理器、光纖通信器件等高精度芯片和電路。主要由真空室、等離子源、刻蝕腔等組成，以下是等離子刻蝕機(jī)的電源解決方案。

此設(shè)備對電源的要求：

1、國產(chǎn)化品牌、快速交付能力強(qiáng)；

2、高性價比、高可靠性，高電壓精度、低紋波噪聲；

3、符合 ATEX、IECEx 增安型防爆；

4、具備一定的防腐性能。

針對該設(shè)備的應(yīng)用需求，金升陽提供相應(yīng)的電源解決方案，此方案采用了金升陽供電一級側(cè)電源為導(dǎo)軌電源LIMF240-23B24、LIMF480-23B24，同時采用了2個作為冗余設(shè)計，滿足設(shè)備高可靠需求,板卡側(cè)電源則采用DCDC模塊電源VRB和URB系列，做進(jìn)一步隔離和轉(zhuǎn)換電壓的作用。

結(jié)語

半導(dǎo)體制造設(shè)備的國產(chǎn)化浪潮為開關(guān)電源行業(yè)帶來了巨大的機(jī)遇與挑戰(zhàn)。作為半導(dǎo)體設(shè)備中的關(guān)鍵部件，開關(guān)電源的性能直接影響到設(shè)備的穩(wěn)定性和可靠性。選擇一款高性能、高可靠性的國產(chǎn)開關(guān)電源，不僅是應(yīng)對供應(yīng)鏈風(fēng)險的必要舉措，更是提升設(shè)備競爭力的關(guān)鍵所在。金升陽作為一站式電源解決方案商，致力于為半導(dǎo)體領(lǐng)域用戶提供更多無憂的國產(chǎn)電源。