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TELEDYNE DALSA MEMS應用-微鏡

供稿:TELEDYNE DALSA

  • 關鍵詞:Teledyne,DALSA,微鏡
  • 摘要:在制造高性能的靜電微鏡方面,Teledyne DALSA擁有無與倫比的經(jīng)驗。 微鏡器件已經(jīng)廣泛應用于電信系統(tǒng)中的VOA或WSS功能,以及在微型投影儀的激光束轉(zhuǎn)向應用。

MEMS應用

從手機的RF芯片,通訊光交叉連接到游戲控制器的陀螺儀,汽車壓力傳感器和用于汽車的慣性傳感器到小型化的醫(yī)療系統(tǒng)用的微流體器件,Teledyne DALSA都已經(jīng)量產(chǎn),并且為這些創(chuàng)新的MEMS應用提高性能的同時降低尺寸和功耗。聯(lián)系我們,討論MEMS制造的挑戰(zhàn) Contact us today to discuss your MEMS fabrication challenges.

MEMS應用: 壓力傳感器  運動傳感器  BioMEMS  微鏡  硅通孔  射頻MEMS

微鏡

>>光學MEMS,應用于電信或者其他更多領域

微鏡制造

在制造高性能的靜電微鏡方面,Teledyne DALSA擁有無與倫比的經(jīng)驗。 微鏡器件已經(jīng)廣泛應用于電信系統(tǒng)中的VOA或WSS功能,以及在微型投影儀的激光束轉(zhuǎn)向應用。微鏡的制造中的關鍵技術,包括SOI設備層轉(zhuǎn)移和體微機械加工,其中為確保一致的鏡偏轉(zhuǎn),極其嚴密的單晶硅層控制是必要的,當然,高品質(zhì)的鏡面金屬沉積也是關鍵。此外因為反射鏡面上單獨一顆粒子的存在就可降低微鏡的光學品質(zhì),污染來源也是被嚴格控制的。我們已經(jīng)開發(fā)了電子光學測試程序,確保每片晶圓(或者每個器件,如果需要)符合產(chǎn)品規(guī)格。

微鏡驅(qū)動

我們參與制造的微鏡陣列的經(jīng)驗是我們認識到,市場上沒有現(xiàn)成的微鏡陣列驅(qū)動和控制的解決方案可以滿足現(xiàn)有不同產(chǎn)品和應用的需求,所以我們自己設計了使用Teledyne DALSA高壓CMOS技術生產(chǎn)的驅(qū)動和控制ASIC。它們是240V, 96 通道的 DH9685 (數(shù)字)和 DH9665 (模擬)。我們的工程師團隊也可以為客戶設計完全訂制的高壓ASIC驅(qū)動和控制電路,來滿足客戶在微鏡和其他MEMS應用的需求。

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發(fā)布時間:2013年7月4日 17:07  人氣:  
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