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KEYENCE基恩士推出SI-F系列微型傳感頭型分光干涉式激光位移計(jì)

供稿：基恩士（中國(guó)）有限公司 2011/10/14 15:31:12
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產(chǎn)品索引

•	[超高精度] 分辨率:0.25 μm
•	[超小尺寸] 微型傳感頭尺寸:ø2 mm
•	[超前技術(shù)] 測(cè)量原理:分光干涉法
•	同時(shí)控制 6 個(gè)傳感頭
•	多重計(jì)算
•	控制器配有 6 個(gè)不同的輸入輸出接口
•	易于使用的數(shù)據(jù)收集專用 PC 軟件

隆重推出業(yè)界超細(xì)微型傳感頭，其擁有同類產(chǎn)品中最高的測(cè)量精度，并實(shí)現(xiàn)了過去認(rèn)為不可能實(shí)現(xiàn)的性能。

產(chǎn)品特性

選擇各種傳感頭
選擇各種傳感頭，擴(kuò)大測(cè)量應(yīng)用范圍
關(guān)于本產(chǎn)品的詳細(xì)內(nèi)容，請(qǐng)使用右上方的圖標(biāo)下載目錄后確認(rèn)。

微型傳感頭型

最適合要求在狹小高溫的環(huán)境下進(jìn)行的超高精度測(cè)量。

SI-F01

主要技術(shù)數(shù)據(jù)

長(zhǎng)距離型

長(zhǎng)距離高精度測(cè)量。

SI-F10

主要技術(shù)數(shù)據(jù)

厚度（間隙）測(cè)量型

專用于厚度測(cè)量，因而可實(shí)現(xiàn)高精度。

SI-F80

主要技術(shù)數(shù)據(jù)

不發(fā)熱、無(wú)噪音

光纖頭結(jié)構(gòu)的優(yōu)點(diǎn)

測(cè)量頭僅由光纖和鏡頭組成，無(wú)電子部件。

光譜干涉系統(tǒng)的原理

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[概要]

從光源(SLD)發(fā)出的寬波長(zhǎng)光帶，經(jīng)傳感頭內(nèi)部的參考反射面與對(duì)象物表面這兩面的反射后，返回到光纖內(nèi)部。這兩個(gè)反射光是相互干涉的。各波長(zhǎng)的干涉光強(qiáng)度由參考反射面與對(duì)象物的距離而決定。(如果知道各波長(zhǎng)的干涉光強(qiáng)度，那么即能夠求算出對(duì)象物的距離。)通過分光器對(duì)干涉光的每個(gè)波長(zhǎng)實(shí)施分光后，使其在CCD形成圖像，就能夠得出波長(zhǎng)的強(qiáng)度分布。分析這個(gè)強(qiáng)度分布，就能夠算出至對(duì)象物為止的距離。

[詳細(xì)(概要內(nèi)容的詳細(xì)說明)]

“從光源(SLD)發(fā)出的寬波長(zhǎng)光帶”...

光具有波的性質(zhì)，通常將一個(gè)波形的長(zhǎng)度稱之為“波長(zhǎng)”。也就是說，光以一波而前進(jìn)的距離。在SI所使用的SLD(Super Luminescent Diode)擁有810nm至830nm的波長(zhǎng)光帶。

"兩個(gè)反射光是相互干涉的"...

干涉，是指波的干涉。復(fù)數(shù)的波相重合，就形成了新的波形。
干涉具有兩個(gè)法則: (1) 只有相同的波長(zhǎng)才會(huì)產(chǎn)生干涉、(2) 如果為同相，則振幅會(huì)轉(zhuǎn)為極大。

(1) : 例如，810nm和820nm的光不會(huì)產(chǎn)生干涉。只有在雙方都為810nm或雙方都為820nm的光才會(huì)產(chǎn)生干涉。
(2) : 如下圖所示，當(dāng)在相同地點(diǎn)，波峰與波峰、波谷與波谷相重合時(shí)(稱之為同相)，干涉波的振幅轉(zhuǎn)為極大;當(dāng)波峰與波谷相重合時(shí)(稱之為逆相)，振幅轉(zhuǎn)為極小。干涉波振幅的大小由兩個(gè)波的重合時(shí)機(jī)而決定。

SI干涉波的大小由參照反射面與對(duì)象物表面所返回來的兩個(gè)波相重合的時(shí)機(jī)而決定。

智能控制器
智能控制器帶來便利性和易用性
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同時(shí)控制 6 個(gè)傳感頭

在主控制器上附加擴(kuò)展單元就可以同時(shí)使用 6 個(gè)傳感頭進(jìn)行測(cè)量。

所有傳感頭同時(shí)測(cè)量

多個(gè)傳感頭被同步，實(shí)現(xiàn)同時(shí)測(cè)量。這可用于同時(shí)測(cè)量移動(dòng)物體上的多個(gè)點(diǎn)以及對(duì)傳感頭間的物體進(jìn)行高精度測(cè)量。

多重計(jì)算

可立即計(jì)算多個(gè)傳感頭的測(cè)量值。只需簡(jiǎn)單的設(shè)定即可讓控制器執(zhí)行復(fù)雜的計(jì)算。

[測(cè)量與參考點(diǎn)的相對(duì)段差高度]
獲得各個(gè)測(cè)量點(diǎn)和參考點(diǎn)之間的高度差。

測(cè)量值 1 = A - B,
測(cè)量值 2 = A - C,
測(cè)量值 3 = A - D, ...

[測(cè)量相對(duì)差值]
測(cè)量特定傳感頭和工件的相對(duì)距離差異。

測(cè)量值 1 = A - B,
測(cè)量值 2 = B - C,
測(cè)量值 3 = A - C, ...

[測(cè)量平整度]
獲得所有測(cè)量值的最大值和最小值的差值。

測(cè)量值 1 =
最大值 (A, B, C, ...) - 最小值 (A, B, C, ...) ...

[測(cè)量翹曲度]
獲得指定測(cè)量點(diǎn)的翹曲度。

測(cè)量值 1 = B - (A + C)/2 ...

[測(cè)量多個(gè)點(diǎn)的厚度]
使用成對(duì)傳感頭測(cè)量多個(gè)點(diǎn)的厚度。

測(cè)量值 1 = X - (A + B),
測(cè)量值 2 = Y - (C + D),
測(cè)量值 3 = Z - (E + F), ...

[測(cè)量平均高度]
獲得表面上指定測(cè)量點(diǎn)的平均高度。

測(cè)量值 1 = 平均 (A, B, C, ...), ...

多樣化的接口

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多樣化的接口

控制器配有 6 個(gè)不同的輸入輸出接口，幾乎可與任何外圍設(shè)備通信。

獨(dú)立顯示/設(shè)定面板

控制器設(shè)計(jì)以易用性為重，因此具備獨(dú)立顯示屏。顯示／設(shè)定面板是否分離取決于控制器的安裝方式。顯示屏可脫離控制單元獨(dú)立安裝，控制器可安裝在控制面板的 DIN 導(dǎo)軌上。在桌面上使用時(shí)，可將控制器單元和顯示屏合并為一個(gè)單元。

在桌面上使用時(shí)

顯示屏/控制器一體化可節(jié)省安裝空間。

連接控制單元時(shí)

顯示屏可安裝在前面板上，控制器可安裝在控制面板的 DIN 導(dǎo)軌上。

顯示光量

以 256 級(jí)顯示傳感頭接收的光量。檢查接收光量有助于確認(rèn)單個(gè)工件的測(cè)量穩(wěn)定性并減少安裝時(shí)調(diào)整角度所需的工時(shí)。

當(dāng)傳感器與工件成直角安裝時(shí)：

大量反射光返回傳感器。

當(dāng)傳感器與工件成斜角安裝時(shí)：

返回傳感器的反射光不足。

軟件

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"SI-Navigator 3", 易于使用的數(shù)據(jù)收集專用 PC 軟件

"SI-Navigator 3", 易于使用的數(shù)據(jù)收集專用 PC 軟件

還必須滿足您的操作系統(tǒng)所需的系統(tǒng)要求。
1. 支持 Home Premium、Professional 和 Ultimate。
2. 支持 Ultimate、Business、Home Premium 和 Home Basic。
3. 支持 Professional SP2 以上版本及 Home Edition SP2 以上版本。
4. 支持 SP4 以上版本。
5. 不支持通過 USB 集線器連接。
6. 不支持通過內(nèi)部局域網(wǎng)或路由器連接。必須使用直線或本地連接。

簡(jiǎn)單設(shè)定

只需將光標(biāo)停留在所需的設(shè)定菜單上并選擇選項(xiàng)。憑借大量可供選擇的下拉列表和圖標(biāo)，任何人都可以輕松設(shè)定。

數(shù)據(jù)存儲(chǔ)

控制器最多可保存 120 萬(wàn)個(gè)測(cè)量點(diǎn)數(shù)據(jù)，隨后可通過 USB 接口將數(shù)據(jù)傳送到連接控制器的 PC?？扇我飧牟蓸勇?、測(cè)量點(diǎn)數(shù)量和通過外部信號(hào)收集數(shù)據(jù)的設(shè)定。

使用 SI-NAVIGATOR 分析