行業(yè)應用案例 | Elmo半導體行業(yè)應用案例合輯
在半導體的世界里，一切尺寸都必須是極微小的。而伺服系統(tǒng)一直在半導體應用中起到舉足輕重的作用，高精準、高能效的伺服驅動器能夠應用在不同設備上，從而提高設備運行效率和生產(chǎn)質(zhì)量。近年來，隨著半導體行業(yè)不斷創(chuàng)新發(fā)展，釋放更多對于伺服產(chǎn)品的需求，為伺服市場帶來了新的增長驅動力。
而今，深諳半導體對精準度，穩(wěn)定性要求高的行業(yè)痛點，Elmo探索出了更為靈活、更精確的運動控制解決方案。一起來看看Elmo在半導體行業(yè)的應用案例吧。
#1
全自動貼片機
研發(fā)在潔凈室中運行的半導體設備時，需要確保半導體設備不會在運行時向空氣中釋放粒子，污染潔凈室，這一點非常重要。而在龍門系統(tǒng)中，工作臺的平行度和線性度不總是那么理想，這會導致兩個電機同步運行時產(chǎn)生偏差，再加上不均勻負載的影響，可能會造成單邊負載磨損嚴重。這種摩損會向空氣中釋放粒子，污染潔凈室。
Platinum Maestro運動控制器
使用Elmo的EASII 軟件及其高級的誤差補償功能，可以幫助用戶創(chuàng)建一個同步誤差補償表格，可以動態(tài)補償龍門同步偏差。經(jīng)過誤差補償，龍門雙驅運動時刻保持同步和平滑，從而極大地減少電機的內(nèi)部摩擦和空氣中的雜質(zhì)。
所有14軸通過EtherCAT總線以1毫秒的循環(huán)時間進行同步，同時支持第三方設備。
Elmo的Platinum Maestro運動控制器作為主控制器，協(xié)調(diào)14軸在系統(tǒng)中的運動。
#2
潔凈室運輸機器人
專注于潔凈間自動生產(chǎn)機器的某大型半導體公司正在開發(fā)一款機器人，用于在潔凈間環(huán)境中移動小型 LCD 面板，如智能手機面板。生產(chǎn)過程中，LCD 面板在自動潔凈間中由機器執(zhí)行多個流程。機器人輸送 LCD 屏幕，然后“送入”機器。
機器人具有四個自由度 (DOF) 和一個多關節(jié)臂;三個關節(jié)支持機器人移動到平面的所需位置，第四個 – 中央軸 – 將移動擴展到三維空間。精度、準確度和速度是此應用需要的重要特性。機器人團隊面臨以下設計挑戰(zhàn)：
空間有限：機器人外殼尺寸無法修改，因為是大型潔凈間機器的一部分。因此，小尺寸的緊湊驅動器非常關鍵。
準確度和快速移動，決定機器前的最終吞吐能力。
需要具有低故障率和高 MTBF(平均故障時間)的可靠驅動器
機器人作為 24/7 連續(xù)運行的機器的一部分，流程中的任何環(huán)節(jié)中斷都會帶來高昂成本。
集成驅動器作為多軸運動控制系統(tǒng)的一部分必須簡便，縮短研發(fā)時間和降低成本。
機器人需要三個數(shù)字輸出：(1) 報警，(2) 伺服開關和 (3) 制動
44 個 Gold Whistle 20/60 伺服驅動器
借助驅動器中實施的 Elmo 先進運動控制算法和 Elmo EASII 編程軟件，驅動器能夠以極為精確平滑的移動提供 LCD 屏幕。
將 Elmo 基于引腳的 Gold Whistle 伺服驅動器簡單快速集成在 PCB 上，集成在機器人臂關節(jié)中，縮短了工程開發(fā)時間。Elmo 上/下 Gold Whistle 伺服驅動器利用控制外部制動的特殊輸出，控制調(diào)節(jié)不平衡垂直軸。
自從設計這款潔凈間機器人后，Elmo 推出了新的解決方案和選擇。現(xiàn)在：
該應用的最佳解決方案是 Platinum Solo Quartet，即 4 軸小型運動控制系統(tǒng) – 4 x 5000W 伺服驅動器和 4 軸運動控制器
使用 4 個 Platinum Twitter 伺服驅動器
此機器人在人附近工作，使用 Elmo 的 Platinum 伺服驅動器增加了先進的功能安全，更加安全可靠。
#3
晶圓探針測試機
設備有一個 XY 平臺，共有超過 15 個運動軸。晶圓探針檢測需要非常精準的測量，因此必須保證系統(tǒng)內(nèi)的電磁噪聲超小。客戶不希望采用體積龐大、價格昂貴且需要大量時間來開發(fā)、組裝和測試的外部 EMI 濾波組件。
此外，他們希望運動整定時間小于 30 毫秒和靜止抖動小于 100 納米，同時提高整體機器產(chǎn)能。
使用Gold Solo Bell，機器的運動整定時間減少到10ms以下，靜止抖動小于20nm，大大低于要求。
由于 Elmo 的 EMI 可以忽略不計，無需笨重、昂貴的濾波器，從而使得機器更精簡、性能更好?？蛻魺o需投入時間和精力來開發(fā)和測試用于復雜環(huán)境的 EMI 降低解決方案，就能夠實現(xiàn)所需的性能。
Platinum Maestro 被選為機器運動軸的主控制器。卓越的伺服驅動器和多軸控制能力相結合，縮短了探針之間的時間，顯著提高了整體產(chǎn)能。
半導體行業(yè)中的伺服系統(tǒng)應用，不僅能夠提升設備性能，還可降低生產(chǎn)過程中的風險和不良率。Elmo的運動控制技術可以挖掘出機器潛能，更準確，更安全，更快速，也更易搭建和運行。相信，在半導體行業(yè)日新月異的發(fā)展中，兼具自動化與專業(yè)化的Elmo伺服系列勢必迎來更加旺盛的需求。
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