應(yīng)用背景

PECVD依靠射頻感應(yīng)產(chǎn)生的等離子體,實(shí)現(xiàn)薄膜沉積工藝的低溫化，從而節(jié)省能源、降低成本、提高產(chǎn)能、減少了高溫導(dǎo)致的硅片中少子壽命衰減，可應(yīng)用于PERC、TOPCON、HJT等多種電池片的工藝中，PECVD設(shè)備正被廣泛應(yīng)用于太陽能光伏行業(yè)。

由于工藝要求的不斷提升，傳統(tǒng)視覺方式很難滿足一些特殊的檢測(cè)要求。我們?cè)趯?duì)太陽能電池進(jìn)行清洗制絨后， 依賴Gocator 3D線激光輪廓傳感器對(duì)硅片進(jìn)行檢測(cè)，實(shí)現(xiàn)硅片搭邊、重疊、異物以及平面度的檢測(cè)。

項(xiàng)目挑戰(zhàn)

● 高反光和漫反射材質(zhì)，相機(jī)動(dòng)態(tài)范圍要求高

● 尺寸大

● 速度要求，對(duì)傳感器的掃描速率要求高

● 需要檢出完全重疊的硅片

現(xiàn)有方案及結(jié)果

選擇6臺(tái)大視野 Gocator 2450覆蓋硅片掃描范圍，針對(duì)缺陷及破損等，基于采集的2D灰度圖和3D點(diǎn)云圖使用內(nèi)置算法，判定OK或者NG。針對(duì)疊片和異物等，基于采集的2D灰度圖和3D點(diǎn)云圖定位硅片位置，統(tǒng)計(jì)硅片位置ROI內(nèi)平面度，根據(jù)平面度判斷硅片是否存在重疊和異物，能夠判定硅片是否100%完全重疊。

Gocator 3D檢測(cè)方案實(shí)現(xiàn)組網(wǎng)和自動(dòng)標(biāo)定， 單片或多片拼圖輸出完整點(diǎn)云圖，布線簡(jiǎn)便及簡(jiǎn)潔，無需編碼器分頻。檢測(cè)方案具備高穩(wěn)定性，助力實(shí)現(xiàn)硅片載板檢測(cè)。

向智能化邁進(jìn)，運(yùn)用LMI Technologies 3D視覺幫助客戶的工業(yè)生產(chǎn)線更加高效、準(zhǔn)確地檢測(cè)，及時(shí)發(fā)現(xiàn)產(chǎn)品存在的缺陷和問題，提高產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率，最終達(dá)到降本增效！