歐姆龍成功事例:半導(dǎo)體爐管wafer凸出的遠(yuǎn)距離穩(wěn)定檢測(cè)方案
應(yīng)用介紹
【行業(yè)】SEMI
【設(shè)備】爐管
【用途】用于晶圓的批量熱處理
使用場(chǎng)景
檢測(cè)石英晶圓舟晶圓是否有突出,防止自動(dòng)取片時(shí)發(fā)生異常。
場(chǎng)景:晶舟上wafer的突出檢測(cè)
解決課題
1、多達(dá)150片wafer時(shí)的高度檢測(cè),容易發(fā)生wafer的橫向移動(dòng),需要穩(wěn)定檢測(cè)。
2、因檢測(cè)距離遠(yuǎn),調(diào)試時(shí)光軸對(duì)準(zhǔn)難度大。
價(jià)值提案
核心產(chǎn)品:距離設(shè)定型光電開關(guān) E3Z-LR
●1級(jí)激光光源,保證遠(yuǎn)距離的檢測(cè)下可檢測(cè)1mm的位置變化。
● 激光束方向的變化可被抑制并且光點(diǎn)直徑可自由更改,方便遠(yuǎn)距離時(shí)光軸的調(diào)整。
相關(guān)產(chǎn)品
E3Z-LT / LR / LL
https://www.fa.omron.com.cn/products/family/1747/
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