超精密二維測(cè)量平臺(tái)
應(yīng)用范圍: 半導(dǎo)體技術(shù)
應(yīng)用: 測(cè)量孔的通否/過光
行程: 340 mm x 330 mm
絕對(duì)定位精度: < 10 nm （全程范圍內(nèi)）
驅(qū)動(dòng)方式: 磨擦輪驅(qū)動(dòng)
最大加速度: 0.25 m/s²


高動(dòng)態(tài)直線電機(jī)
采用AeroLas的空氣軸承可以使直線電機(jī)有極其高的精度和高動(dòng)態(tài)特性：實(shí)際加速度達(dá)到400 m/s2 (理論上可達(dá) 1.000.000 m/s2).
應(yīng)用于齒輪測(cè)量，幾年來已連續(xù)運(yùn)行60億次以上
行程： 100 mm
負(fù)載：2 kg


高加速度雙軌式直線電機(jī)
截面：500 mm x 250 mm)，加速度達(dá)300 m/s2且精密定位。 采用空氣軸承，受溫度變化影響小，電纜不動(dòng)，行程： 150 mm
負(fù)載：10 kg
最大加速度: > 300 m/s2
最大速度: 4.7 m/s