• 型號：CIMR-VCBA0002BAA


• 數(shù)量：6


• 制造商：廈門戎豐電氣設備有限公司


• 有效期：2024/12/21 0:00:00

隨著市場環(huán)境的優(yōu)化升級和國家政策的有利驅動，新能源汽車、智能駕駛、智能終端和5G等下游行業(yè)對集成電路的需求激增。而作為典型的高精尖產業(yè)，集成電路的制造對生產環(huán)境和工藝的要求極為苛刻。其中，潔凈室的建設是集成電路制造中的關鍵環(huán)節(jié)，對最終產品的性能具有至關重要的影響。

　　作為我國最早專業(yè)從事潔凈室機電設備安裝的工程公司之一，中國電子系統(tǒng)工程第四建設有限公司（以下簡稱“中電四公司”）可為集成電路制造企業(yè)提供設計、采購、項目管理、施工、設施管理、潔凈室配套產品制造等一體化“交鑰匙”工程服務。

　　2021年，在為北京集電控股有限公司（以下簡稱“北京集電”）建設集成電路車間潔凈室項目中，中電四公司為滿足客戶對環(huán)境監(jiān)測的高精度和高穩(wěn)定性要求，選擇與維薩拉合作，將工業(yè)用溫濕度變送器HMT330、本質安全型溫濕度變送器HMT370EX和溫濕度變送器HMT120等系列產品，成功應用于北京集電廠房潔凈室。自應用以來，相關儀表和變送器運行穩(wěn)定，測量準確。

　　纖毫必顯 打造高標準的潔凈車間

　　穿戴嚴密封閉的特制防護服和鞋套，經過嚴格的車間消殺流程，再通過數(shù)道相互獨立隔離的車間閘門，操作員方能進入標準嚴苛的集成電路廠房潔凈室。不同于一般工業(yè)品，集成電路從單晶硅片制造到IC制造再到IC封裝的重要步驟，均需在潔凈室中完成。無論是微小的粉塵和碎屑，還是無形的環(huán)境溫度和濕度等，都將對制造過程產生重大影響。

　　“集成電路的制造對生產環(huán)境的要求非常高，需要對溫度、濕度等參數(shù)進行極為精確、穩(wěn)定的測量，從而確保生產環(huán)境的穩(wěn)定可靠?！敝须娝墓臼袌龉芾碇行目偨浝韽堢鞅硎?，“2020年，早在北京集電潔凈室項目的投標階段，我們知道維薩拉的相關產品可完全滿足客戶對溫濕度測量的苛刻需求。于是，我們決定采用維薩拉產品作為測量儀表進行投標，由此也開啟了與維薩拉一系列的深度合作?！?/p>

　　隨著我國集成電路制造工藝的升級，其制造過程需要的潔凈程度也水漲船高，這對于潔凈室的建設提出了越來越高的要求。據(jù)介紹，北京集電所制造的集成電路工藝目前已突破28納米，對應的潔凈室環(huán)境溫度誤差為±0.3°C，濕度誤差為±3%。一旦溫度和濕度突破限定誤差，將顯著影響產品的良品率、使用性能和可靠性。

　　針對上述應用環(huán)境，維薩拉的多款產品如HMT330、HMT120和HMT370EX在其中扮演重要角色。其中，HMT330可在惡劣環(huán)境中和苛刻需求下實現(xiàn)精準測量，還可針對不同的應用環(huán)境實現(xiàn)定制，從而滿足多樣的客戶需求。HMT120則是一款專為潔凈室等環(huán)境打造的溫濕度變送器，智能測量探頭可現(xiàn)場更換，輕松實現(xiàn)測量的可追溯性。

　　值得一提的是具有“本質安全”功能的溫濕度變送器HMT370EX。即使在誤操作或發(fā)生故障的情況下，這款產品也不會造成事故或設備損壞。截至目前，該產品已獲得多項本質安全認證。除測量相對濕度和溫度外，HMT370EX還支持輸出其他濕度參數(shù)，如露點溫度、濕球溫度、絕對濕度、混合比、水濃度、水質量分數(shù)、水汽壓和焓值。

　　“維薩拉產品的測量精度不僅完全滿足了潔凈室的設計標準，更大幅壓縮了標準誤差的范圍：將其降低至標桿誤差的三分之一，達到了濕度±1%、溫度±0.1°C，充分保障了潔凈室的可靠運行。”張琪補充道，“出于項目整體精度和穩(wěn)定性的考慮，維薩拉的測量儀表成為我們這個項目的理想選擇?！?/p>

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