應(yīng)用案例-半導(dǎo)體封裝設(shè)備的合模定位
應(yīng)用背景:
材料:芯片封裝機械合模定位,合模位置精度要求1um。
檢測要求:1、合模時在上下模具距離4mm 時給出減速信號;2、在合模到位時給出合模到位信號,合模到位時的位置精度要求在1um;3、合模到位的位置可以根據(jù)需要(如更換模具)在控制器中重新設(shè)定,而不需要重新安裝傳感器。
方案配置:
1、SK 位移/(在線)厚度/定位檢測控制器
2、單路磁敏探頭SHRM-12AU05
3、金屬被檢測塊
4、屏蔽電纜長度根據(jù)實際要求配置
傳感頭安裝說明:
檢測材料:上下模具的距離通過傳感頭與金屬被檢測塊之間的距離來定位。
檢測范圍:0~5mm,推薦檢測范圍0.5~4.5mm,也即是減速點與定位點的距離須在推薦的檢測范圍中。 其中0~0.5 的范圍為探頭安全保護范圍,傳感頭的安裝支架上設(shè)計了防撞擋塊。
模具可測范圍:0.5~4.5mm;
探頭尺寸及安裝說明:詳見http://www.hiison.com/down/html/?31.html
參數(shù)設(shè)置說明:
1、減速點:上模具距離下模具4mm 的位置輸出減速點到達信號。
2、合模定位點:上模具與下模具合模位置到達,控制器輸出信號,位置精度1um。
3、模具更換后,只需在參數(shù)中重新設(shè)置上述兩點。
4、合模定位點的整定:設(shè)備在出廠調(diào)試時,采用別的方式將模具控制到合模位置,記錄下此時的傳感頭與金屬被檢測材料的距離,將此位置作為合模到位的定位點。
5、詳細信息,請參考《SK 位移/(在線)厚度/定位檢測控制器說明書》。
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