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橫河 PLC FA-M3在清洗機(jī)上的應(yīng)用

--橫河 PLC FA-M3在清洗機(jī)上的應(yīng)用

供稿：天津羅升企業(yè)有限公司 2009/5/19 16:47:00

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  • 關(guān)鍵詞： 工控 單片機(jī) 編程軟件
  • 摘要：橫河 PLC FA-M3在清洗機(jī)上的應(yīng)用。清洗機(jī)廣泛應(yīng)用在晶片處理的很多階段。

　

　　清洗機(jī)廣泛應(yīng)用在晶片處理的很多階段。清洗機(jī)分為單片清洗機(jī)和盒式清洗機(jī)。
　

　　FA-M3系統(tǒng)構(gòu)成例：

　　控制要求：
　　　
　　不同的化學(xué)清洗濟(jì)需要不同的旋轉(zhuǎn)速度；即使相同的化學(xué)制劑在清洗和干燥階段，盤片的旋轉(zhuǎn)速度也不同?？焖?、平滑無停頓的速度控制是控制要點(diǎn)之一。
　
　　通常的PLC只有梯形加減速，在很短的時(shí)間內(nèi)進(jìn)行速度改變時(shí)，容易造成盤片的速度超調(diào)從而產(chǎn)生振動(dòng)。而振動(dòng)容易損壞脆弱的盤片。
　
　　精確、快速、柔和的機(jī)械定位。采用了PASS BY的方式進(jìn)行位置控制。以達(dá)到柔和、快速的定位控制。
　
　　在盤片旋轉(zhuǎn)停止后，需要把速度控制更改為位置控制。因?yàn)楸P片停止后需要保證盤片的方向。FA-M3可以很方便的進(jìn)行速度、位置切換。
　
　　FA-M3適用模塊：
　　主控制器－－－－-F3SP28-3S/53-4S: 超高速CPU, 最小掃描200μs，
　　☆基本命令17.5ns,最小掃描200μs, 保證系統(tǒng)全體的快速響應(yīng).
　　☆搭載3處理器并行處理，通信及人機(jī)不再占用掃描時(shí)間。
　　高速RS232/以太網(wǎng)通信－－－－-F3RZ82/F3LE11-0T
　　☆115Kbps 串行通信和100Mbps 以太網(wǎng)通信。
　　各旋轉(zhuǎn)軸控制－－－－-F3NC32/F3NC34/F3NC96
　　☆高達(dá)5Mpps的高速脈沖輸出和10Mbps的通訊速度實(shí)現(xiàn)高速高精度控制。
　　☆Pattern經(jīng)由/軌跡控制使運(yùn)行曲線更順暢、平滑，同時(shí)提高生產(chǎn)效率。
　　☆由外部輸入直接啟動(dòng)位控，不再占用CPU程序且響應(yīng)時(shí)間小于0.72ms
　　☆Mechatrolink多軸通訊控制節(jié)省設(shè)備配線和維護(hù)工作。
　　☆使用專用軟件設(shè)定動(dòng)作/測試/監(jiān)視。節(jié)省繁瑣的梯形圖編程，縮短調(diào)試周期

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