臺達B2伺服在IC芯片排片機上的成功應(yīng)用
1 基本介紹
全自動IC排片機是根據(jù)光伏產(chǎn)業(yè)和國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展及市場需求而開發(fā)研制的新型自動化設(shè)備,可通過電控裝置可靠地實現(xiàn)自動裝片,并有連鎖保護、工況顯示、故障報警等功能。該設(shè)備主要用于IC芯片、太陽能電池片等類似形狀的自動裝片,整機采用3工位立式升降機構(gòu),由伺服電機、滾珠絲杠系統(tǒng)實現(xiàn)精確傳動,是光伏、半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)自動化裝片、大大降低裝片破損率、提高效能的生產(chǎn)型設(shè)備。
全自動IC排片機是將晶圓上微小的芯片(Die)粘起并精確安放到引線框架上的一種自動化設(shè)備,是IC生產(chǎn)中后封裝工序必備的關(guān)鍵設(shè)備之一,可適用于DIP、SOP、SOT、PLCC、TSOP、QFP、BGA等多種封裝工藝的生產(chǎn),具有廣泛的應(yīng)用,如圖1所示。
圖1 全自動IC排片機
2 設(shè)備介紹
2.1該設(shè)備的主要技術(shù)參數(shù)
最大WAFER尺寸:8″; 可處理芯片規(guī)格:0.25mm?(0.25mm~6mm)?6mm; 可處理多芯位/陣列式框架和中墊下凹的框架; 自動吹通吸嘴的阻塞物; 芯片漏撿檢測和重撿功能; 配備多頂針系統(tǒng); 具備引線框架防反功能; 綁定速度UPH≥8K(采用SOP8L框架,1.0mm芯片); 粘接頭壓力可調(diào); 粘接頭旋轉(zhuǎn)運動范圍:270?; 配備高精度交流伺服馬達系統(tǒng),精度3um; 拾取頭具備四方向與角度調(diào)整; 高精度:XY方向?38um@3 (sigma); 更換品種時間:不同品種≤25min。
2.2設(shè)備的電控系統(tǒng)組成
圖2 電控系統(tǒng)組成 圖3臺達B2系列伺服應(yīng)用于自動排片機的焊臂機構(gòu) 圖4 驅(qū)動器 圖5 整體設(shè)備
2.3臺達伺服專用軟件ASDA_Soft V4.05.01
圖6 臺達伺服專用軟件ASDA_Soft V4.05.01調(diào)試界面
軟件通過自動增益調(diào)整的功能,計算出機構(gòu)的負荷慣量比、位置增益、速度增益、前饋增益等參數(shù),進行驅(qū)動器相應(yīng)的設(shè)定,并針對在調(diào)試過程中出現(xiàn)的共振問題進行了抑制。
3 項目總結(jié)
客戶的全自動IC排片機該設(shè)備采用臺達B2系列伺服后,大幅度地提高了系統(tǒng)的相應(yīng)速度和控制精度,使該設(shè)備在技術(shù)層面得以大幅度改進。
作者簡介:
趙成亮,男,出生于1984年,畢業(yè)于佳木斯大學(xué),自動化專業(yè)?,F(xiàn)任中達電通東北大區(qū)業(yè)務(wù)支援處應(yīng)用工程師,從事臺達機電產(chǎn)品在東北區(qū)域的技術(shù)支持和推廣工作,有著豐富的業(yè)界經(jīng)驗。
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