應(yīng)用背景

半導(dǎo)體天車，全稱為“空中懸掛式無人搬送車，是一種能在空中軌道上行駛的自動(dòng)化搬運(yùn)設(shè)備，是半導(dǎo)體制造過程中不可或缺的一部分。將RFID技術(shù)應(yīng)用在半導(dǎo)體天車上，通過RFID技術(shù)的快速精準(zhǔn)、非接觸式、穿透性識(shí)別功能，在確保晶圓安全的同時(shí)，還能提高整個(gè)半導(dǎo)體晶圓的運(yùn)輸效率。

應(yīng)用方案

RFID在半導(dǎo)體天車上的應(yīng)用主要體現(xiàn)在自動(dòng)化搬運(yùn)、實(shí)時(shí)位置監(jiān)測(cè)、信息讀取與上傳以及安全控制等方面；

晶圓盒信息讀取與上傳

晶圓盒信息讀?。?/span>

FOUP晶圓盒上安裝的TI載碼體標(biāo)簽（或TI玻璃管標(biāo)簽）記錄了晶圓芯片的所有信息，如晶圓尺寸、制造日期、流程信息等。當(dāng)天車搬運(yùn)FOUP晶圓盒時(shí)，半導(dǎo)體RFID讀寫器會(huì)讀取這些信息，確保所搬運(yùn)的晶圓盒準(zhǔn)確無誤。

信息上傳：

在搬運(yùn)過程中，RFID讀寫器會(huì)將讀取到的信息實(shí)時(shí)上傳到管理系統(tǒng)。這樣，管理人員可以實(shí)時(shí)掌握晶圓盒的搬運(yùn)情況，并在必要時(shí)進(jìn)行干預(yù)或調(diào)整。

天車實(shí)時(shí)位置監(jiān)測(cè)與調(diào)度

產(chǎn)品溯源：

當(dāng)產(chǎn)品出現(xiàn)瑕疵等不良品時(shí)，可以通過RFID技術(shù)記錄上傳數(shù)據(jù)快速定位到問題點(diǎn)上，進(jìn)行產(chǎn)品溯源。

產(chǎn)品介紹

CK-S650系列RFID讀寫器是專為半導(dǎo)體制造業(yè)而研發(fā)生產(chǎn)的RFID讀寫器設(shè)備。該讀卡器符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)，支持標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)半導(dǎo)體SECS協(xié)議和 Modbus協(xié)議,同時(shí)還支持1和N協(xié)議,方便用戶應(yīng)用到半導(dǎo)體加工控制器或PLC等系統(tǒng)中。設(shè)備外置了三個(gè)模式開關(guān)選擇器，方便用戶直接設(shè)置工作模式、通信速率以及設(shè)備地址。讀卡器內(nèi)部集成了射頻部分通信協(xié)議，用戶只需通過串口通信接口或者以太網(wǎng)通信接口發(fā)送接收數(shù)據(jù)便可完成標(biāo)簽的讀取操作，無需理解復(fù)雜的射頻通信協(xié)議。