該產(chǎn)品是富士電機(jī)新推出的小型伺服，主要用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備、電子零部
件加工設(shè)備以及工業(yè)機(jī)器人等。主要具備如下特點(diǎn)：
1、響應(yīng)頻率為600Hz，為伺服業(yè)界最高，非常適用于電子設(shè)備。
2、在剛性較低的設(shè)備中發(fā)揮”抑振控制功能“
3、通過(guò)新開(kāi)發(fā)的”前饋控制“即使在加減速時(shí)可以將位置偏差調(diào)整為零。
4、配備16位高分辨率的編碼器，使得高精度定位。

5、安裝操作非常簡(jiǎn)單，參數(shù)設(shè)置方便快捷。