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KEYENCE基恩士推出VK-X100/X200系列形狀測(cè)量激光顯微系統(tǒng)

供稿:基恩士(中國)有限公司 2011/10/19 16:30:34
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       KEYENCE基恩士推出VK-X100/X200系列形狀測(cè)量激光顯微系統(tǒng)。

 

 

激光掃描顯微系統(tǒng)可以解決所有的課題

 

使用激光顯微系統(tǒng)則可全部簡單地實(shí)現(xiàn)



光學(xué)顯微鏡
光學(xué)顯微鏡
提升倍率后,難以對(duì)焦,分辨率不足。
SEM
SEM
前處理或樣本尺寸等的準(zhǔn)備煩瑣,僅能以黑白色進(jìn)行觀察。
粗糙度儀
粗糙度儀
不能夠?qū)崿F(xiàn)一邊放大觀察,一邊對(duì)工件部位實(shí)施非破壞性的凹凸測(cè)量。
使用激光顯微系統(tǒng)則可全部簡單地實(shí)現(xiàn)

 

 
 
光學(xué)顯微鏡

 



有限的分辨率和放大倍數(shù)
有限的分辨率和放大倍數(shù)
光盤坑 (6000 倍)
景深淺
景深淺
刀尖 (1000 倍)
不支持可追溯性
不支持可追溯性
 
 
高分辨率,大景深觀察

 



高分辨率, 最大放大24000 倍
高分辨率, 最大放大24000 倍
光盤坑(6000 倍)
完全聚焦的清晰圖像
完全聚焦的清晰圖像
刀尖(1000 倍)
符合溯源性要求
符合溯源性要求
使用 VK 系列獲得的測(cè)量結(jié)果是高度可靠的測(cè)量數(shù)據(jù),并且符合國家標(biāo)準(zhǔn)溯源性。
 
SEM

 



顏色不能確定,因?yàn)閳D像是黑色和白色
顏色不能確定,因?yàn)閳D像是黑色和白色
墨粉 (1000 倍)
準(zhǔn)備與觀察需要大量時(shí)間
準(zhǔn)備與觀察需要大量時(shí)間
 
樣本大小是受限制的
樣本大小是受限制的
由于受到樣本的大小或者樣本不適合在樣品室等原因的影響,觀察有時(shí)是不可能的。
 
仿佛彩色 SEM

 



16 bit 激光彩色觀察
16 bit 激光彩色觀察
墨粉(1000 倍)
放置并且測(cè)量,您可以在幾秒鐘內(nèi)進(jìn)行分
放置并且測(cè)量,您可以在幾秒鐘內(nèi)進(jìn)行分
 
各種樣品的測(cè)量
各種樣品的測(cè)量
可拆卸測(cè)量頭單元允許各種尺寸的樣品測(cè)量??刹鹦稖y(cè)量頭單元可以與其他設(shè)備整合并支持遠(yuǎn)程操作。
 
粗糙度儀

 



由于接觸探針造成樣本刮傷
由于接觸探針造成樣本刮傷
鋁表面(200 倍)
在屏幕上水平凹槽。
難以測(cè)量目標(biāo)
難以測(cè)量目標(biāo)
用觸筆擊中目標(biāo)的理想位置可能會(huì)產(chǎn)生一些問題,例如目標(biāo)為螺紋頂。
分辨率受限于觸筆尖端直徑
分辨率受限于觸筆尖端直徑
無法測(cè)量粗糙度小于測(cè)量儀器的觸筆尖端的粗糙度的表面。
 
無損輪廓和粗糙度測(cè)量
 
 
 
 
 
 
 

 

全方位性質(zhì)的清晰觀察

 

從光學(xué)觀察到類似于彩色 SEM 的高分辨率觀察

關(guān)于本產(chǎn)品的詳細(xì)內(nèi)容,請(qǐng)使用右上方的圖標(biāo)下載目錄后確認(rèn)。

16 bit 激光彩色觀察

在大氣中以全方位性質(zhì)的分辨率實(shí)現(xiàn)全焦觀察。

光學(xué)觀察
光學(xué)觀察
 
 
 
全焦觀察
全焦觀察
 
 
 
高分辨率激光 黑白觀察
高分辨率激光 黑白觀察
 
16 bit 激光彩色觀察
16 bit 激光彩色觀察

在大氣中以全方位性質(zhì)的分辨率實(shí)現(xiàn)全焦觀察。

通過短波長激光全面掃描,能夠以光學(xué)顯微鏡無法實(shí)現(xiàn)的分辨率,按 200 至 24000 倍率* 實(shí)現(xiàn)全焦觀察。

* VK-X200 系列時(shí)
 
光學(xué)圖像
光學(xué)圖像
 
激光圖像 盤片坑(6000 倍)
激光圖像 盤片坑(6000 倍)

以類似于 SEM 的分辨率實(shí)現(xiàn)真彩觀察。

對(duì)于由激光獲取到的各像素均已正確對(duì)焦的高度的色彩信息,由 CCD 相機(jī)按每 1 像素分別提取,再轉(zhuǎn)換成激光高分辨率圖像。
 
激光黑白圖像
激光黑白圖像
 
16 bit 激光彩色圖像墨粉(1000 倍)
16 bit 激光彩色圖像 墨粉(1000 倍)

可運(yùn)行所有表面形狀測(cè)量

對(duì)于拍攝到的圖像可自由測(cè)量

關(guān)于本產(chǎn)品的詳細(xì)內(nèi)容,請(qǐng)使用右上方的圖標(biāo)下載目錄后確認(rèn)。

“想測(cè)量高低差· 形狀實(shí)現(xiàn)數(shù)值化”

[剖面 3D 測(cè)量]
高度· 寬度· 角度截面積測(cè)量
對(duì)測(cè)量屏幕上任意指定的直線或曲線的橫截面輪廓,都可進(jìn)行“高度”、“寬度”、“橫截面”、“角度”、“R 值”等測(cè)量。
 
基板高度差高度·寬度測(cè)量(1000 倍)
基板高度差高度·寬度測(cè)量(1000 倍)
 
微攝鏡頭 R 測(cè)量(1000 倍)
微攝鏡頭 R 測(cè)量(1000 倍)

 

表面積· 體積測(cè)量
測(cè)量屏幕上任何指定區(qū)域的“體積”、“表面積”、“ 面積∶表面積之比”。
 
光學(xué)薄膜 (1000 倍)
光學(xué)薄膜 (1000 倍)
 
太陽能電池表面積測(cè)量(1000 倍)
太陽能電池表面積測(cè)量(1000 倍)

“想要將表面狀態(tài)的差異實(shí)現(xiàn)數(shù)值化”

[可以精確測(cè)量線粗糙度和面粗糙度]
線粗糙度測(cè)量
可以一邊觀察2D 或3D 圖像,一邊避開頂點(diǎn)或異物,測(cè)量目標(biāo)部位的粗糙度。
 
“想要將表面狀態(tài)的差異實(shí)現(xiàn)數(shù)值化”

 

面粗糙度測(cè)量
從視覺上來講存在差異,那么差異究竟有多大呢? 可以測(cè)量面的粗糙度,通過數(shù)值確認(rèn)平均化后的差異。

(例)功能性薄膜的暗紋(3000 倍)
樣本A: Ra 1.5 μm
樣本A: Ra 1.5 μm
 
樣本B: Ra 3.2 μm
樣本B: Ra 3.2 μm
 

透明薄膜測(cè)量內(nèi)置“獨(dú)特的算法”

不僅實(shí)現(xiàn)膜厚測(cè)量﹐還可獲取最表面和背面的形狀。
可對(duì)觀察視野整個(gè)區(qū)域執(zhí)行多層分析??蓪?duì)已選的各層或多層進(jìn)行 3D 圖像顯示、橫截面輪廓顯示,可測(cè)量任意位置的形狀、薄膜厚度。
 
透明薄膜測(cè)量內(nèi)置“獨(dú)特的算法”

“想要一次性自動(dòng)拍攝· 測(cè)量多個(gè)樣本”

[自動(dòng)測(cè)量具備規(guī)則圖形的工件]
自動(dòng)寬度· 高度測(cè)量
對(duì)于具備規(guī)則圖形的工件的寬度· 高度,按照設(shè)置條件自動(dòng)測(cè)量。由于是自動(dòng)測(cè)量,因此不會(huì)生成人員造成的誤差,可以在短時(shí)間內(nèi)完成測(cè)量。
 
光致抗蝕圖形(6000倍)
光致抗蝕圖形(6000倍)
 
光學(xué)薄膜(1000 倍)
光學(xué)薄膜(1000 倍)

全自動(dòng)測(cè)量

誰都可以實(shí)現(xiàn)和熟練人員一樣的測(cè)量

關(guān)于本產(chǎn)品的詳細(xì)內(nèi)容,請(qǐng)使用右上方的圖標(biāo)下載目錄后確認(rèn)。

 

通過融入長年專有經(jīng)驗(yàn)的 AI-Scan,僅需按下“ 測(cè)量開始”按鈕,便能得到符合樣本的最佳設(shè)置,實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量。
全自動(dòng)測(cè)量
 

[世界首創(chuàng)] AI-Scan 3 個(gè)功能

單擊測(cè)量開始按鈕便可實(shí)現(xiàn)
 
1. AAG 功能
對(duì)受光組件的激光受光靈敏度運(yùn)行 2 項(xiàng)最佳調(diào)整。對(duì)于有斜度的樣本或混合存在明暗的樣本也可正確測(cè)量。
* AAG=Advanced Auto Gain
傳統(tǒng)方式
傳統(tǒng)方式
 
 
 
AAG 功能
AAG 功能
金剛石工具(400 倍)
2. 自動(dòng)上下限設(shè)置
對(duì)于樣本的上下限在整個(gè)畫面區(qū)域?qū)崿F(xiàn)自動(dòng)識(shí)別和設(shè)置,在上下限范圍之內(nèi)運(yùn)行掃描和測(cè)量。
鏡頭自動(dòng)掃描
鏡頭自動(dòng)掃描
 
識(shí)別畫面內(nèi)的上下限, 自動(dòng)設(shè)置為測(cè)量范圍。
識(shí)別畫面內(nèi)的上下限, 自動(dòng)設(shè)置為測(cè)量范圍。
 
 
 
3. 雙掃描功能
識(shí)別到未有效拍攝的部分時(shí),會(huì)自動(dòng)改變?cè)O(shè)置,運(yùn)行二次拍攝,獲取正確的數(shù)據(jù)。
單掃描時(shí)
單掃描時(shí)
 
 
 
雙掃描后
雙掃描后
焊錫(200 倍)

廣視野的測(cè)量

通過 WIDE-Scan 簡單 · 高速地實(shí)現(xiàn)廣視野的測(cè)量

關(guān)于本產(chǎn)品的詳細(xì)內(nèi)容,請(qǐng)使用右上方的圖標(biāo)下載目錄后確認(rèn)。

課題 1

視野狹窄的話,無法明確正在觀察哪個(gè)部位。還想觀察周圍。
課題 1
 

高速高精度 WIDE-Scan 解決
使用 WIDE 的話則可一目了然,不會(huì)發(fā)生測(cè)量部位的錯(cuò)誤。
想要提升倍率實(shí)現(xiàn)高精度的觀察· 測(cè)量時(shí),有時(shí)會(huì)因視野狹窄而不明白正在觀察哪個(gè)部位。按照對(duì)應(yīng)目標(biāo)分辨率的倍率使用 WIDE-Scan 的話,則可簡單地獲取到廣視野的高分辨率 3D 圖像。之后對(duì)觀察部位也可做到一目了然。

課題 2

關(guān)于局部性的測(cè)量,會(huì)因拍攝部位不同而使數(shù)據(jù)生成偏差。
課題 2
 
目錄下載:
http:///company/datum/2013091317241500001.htm


更多內(nèi)容請(qǐng)?jiān)L問 基恩士(中國)有限公司(http://c.gongkong.com/?cid=44538)
新聞來源: http://china.keyence.com/GKVKX01

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