如果您是一位從事平板顯示器、印刷電路板（PCB）或半導(dǎo)體晶圓檢測的工程師，一定了解圖像質(zhì)量、檢測速度、以及降低機械振動的影響等因素對于企業(yè)生產(chǎn)來說有多么重要！尤其是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)具有集成度高、精細(xì)度高的特點，是機器視覺技術(shù)比較早大規(guī)模應(yīng)用和應(yīng)用較為成熟的領(lǐng)域。

目前在檢測領(lǐng)域有較大突破的當(dāng)屬多場（Multifield）成像技術(shù)，可以在一次掃描中使用各種照明條件（例如明場、暗場和背光）捕獲多個圖像。近日，機器視覺產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟（CMVU）公布的2021機器視覺創(chuàng)新產(chǎn)品TOP10產(chǎn)品中就有多場成像技術(shù)的身影。

Teledyne 申報的Linea HS 16K Multifield 相機利用不同波長的光源，一次掃描即可同時捕獲三幅圖像。電荷轉(zhuǎn)移 CMOS TDI 傳感器采用 16k x (64+128+64) TDI 陣列和 5x5 μm 像素尺寸，利用先進(jìn)的晶圓級二向色濾光片鍍膜，具有比較小的光譜串?dāng)_，用光譜隔離方法實現(xiàn)三幅圖像成像。這款相機配有高速 CLHS 接口，通過單根長光纖電纜可實現(xiàn)高達(dá)每秒 84 億像素的傳輸速度。

產(chǎn)品特點：

• 平板顯示器、印刷電路板 (PCB) 和半導(dǎo)體晶片檢測；

對于平板檢查，Linea HS Multifield相機提供了16k高分辨率，用于在面板經(jīng)過相機時對整個面板進(jìn)行成像。與一次捕獲整個矩形圖像的區(qū)域掃描相機不同，當(dāng)面板在視野中移動時，Linea HS Multifield相機一次捕獲一條條紋。因此，當(dāng)面板在生產(chǎn)過程中移動時，無需停止即可成像。此外，Linea HS Multifield相機不需要像在短曝光下捕獲圖像的區(qū)域掃描相機那樣，需要很多的照明。當(dāng)物體在生產(chǎn)過程中快速移動時，區(qū)域掃描相機可能需要大量照明才能正確捕獲圖像。

通過上述每種照明方法，Linea HS Multifield相機可為其他制造應(yīng)用（如PCB和晶圓生產(chǎn)）提供類似的檢查性能。通過選擇從銳角、上方和下方照明，可以為在生產(chǎn)過程中被檢查的物體提供圖像，用于反映不同角度的可見問題。這些不同的照明方法提供了與對許多產(chǎn)品進(jìn)行三維檢查相當(dāng)?shù)囊暯恰Ｒ虼?，使用Linea HS Multifield相機，機器視覺應(yīng)用可以產(chǎn)生比使用標(biāo)準(zhǔn)成像系統(tǒng)多得多的細(xì)節(jié)。

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• 薄膜、金屬箔Web 檢測；

• 通用機器視覺和生命科學(xué)應(yīng)用。

• 這款相機還可用于使用白光源進(jìn)行彩色成像。二向色濾光片的光譜具有獨特的顏色表征，可用于增強可檢測性。

2021年10月，據(jù)Teledyne官宣，Linea? HS 16k Multi?eld TDI 相機已批量生產(chǎn)。Linea HS 16k Multifield相機顯著提高了檢查速度。這意味著降低了制造過程中檢查部分的能耗。通過使用更少的硬件，企業(yè)在進(jìn)行制造的過程中，消耗更少，并進(jìn)一步降低能耗。

 

在檢查過程中，Linea HS 16k Multifield相機還顯著提高了圖像質(zhì)量，并且為企業(yè)和消費者生產(chǎn)出更高質(zhì)量的材料和產(chǎn)品。在這個過程的早期，圖像質(zhì)量的顯著改善也意味著減少材料浪費。