雅斯科為半導(dǎo)體制程和設(shè)備提供精確測量和有效保障
半導(dǎo)體工業(yè)隨著汽車制造,人工智能,物聯(lián)網(wǎng),工業(yè)4.0等領(lǐng)域的飛速發(fā)展,面臨著產(chǎn)能,可靠性,供應(yīng)鏈成本等重大挑戰(zhàn)。雅斯科的壓力測量技術(shù)和產(chǎn)品,包括配備CVD傳感元件的高純壓力傳感器以及使用 Si-Glas? 超薄單晶硅膜片可變電容傳感元件的微差壓傳感器,在諸如氣體控制面板,氫氣壓力檢測,以及潔凈室關(guān)鍵環(huán)境控制等應(yīng)用領(lǐng)域,為半導(dǎo)體制程和設(shè)備提供精確的測量和有效的保障。
高純氣體的純度至少為99.999%,其清潔度水平超過制藥行業(yè)的一萬倍甚至更多。如此高標(biāo)準(zhǔn)的要求是基于半導(dǎo)體制程的精密性,也因為制程一旦被污染所造成的損失巨大。實際上某些設(shè)備涉及多達(dá)400個工藝步驟,也增加了被污染的機(jī)率。
因此壓力傳感器必須具有高準(zhǔn)確性,高潔凈度,接液材質(zhì)應(yīng)能與多種氣體兼容,同時應(yīng)確保介質(zhì)和顆粒潴留的可能性降到最低程度。部分應(yīng)用場合需要符合氣密性要求。
ZT/ZX/ZL高純壓力傳感器
雅斯科ZT/ZX/ZL系列高純壓力傳感器基于CVD傳感元件平臺,是超純應(yīng)用的專用壓力傳感器產(chǎn)品,其產(chǎn)品特性包括能適應(yīng)不同介質(zhì)的接液元件材質(zhì),如316L, A286,Co-Ni 合金等,也包括VCR接頭,以及符合規(guī)范的表面光潔度和測量精度。每臺產(chǎn)品都經(jīng)過泄漏檢測(<5 x 1012 atmcc/s)以及雙重包裝處理,確保完整性和潔凈度。
CVD傳感元件技術(shù),是以化學(xué)氣相沉積的工藝(Chemical Vapor Deposition),使多晶硅薄膜與接液基座形成原子級別的牢固結(jié)合,是確保ZT/ZX壓力傳感器的穩(wěn)定性與可靠性的關(guān)鍵。
GX/CX/DX微差壓傳感器
雅斯科GX/CX/DX等微差壓傳感器產(chǎn)品基于MEMS制造的的Si-Glas? 超薄單晶硅膜片可變電容傳感元件,采用雅斯科TruAccuracy?技術(shù)進(jìn)行校驗, 充分考慮零點和滿量程誤差,可選SpoolCal?設(shè)計,允許在線標(biāo)定和校驗。
Si-Glas?傳感元件使用的硅膜片具有良好的彈性和延展性,金屬和晶體通過濺射的方式與硅片牢固結(jié)合,因此傳感元件具有良好的溫度范圍和安裝位置變化的適應(yīng)性,具有良好的長期穩(wěn)定性。這是雅斯科特有的技術(shù),也是確保雅斯科的微差壓傳感器精確可靠的關(guān)鍵。
HPX/HPT/HPS超高純壓力表
雅斯科HPX高純壓力表系列提供28mm、50mm、63mm多種表盤直徑規(guī)格,具有316L接液材質(zhì),Class10,000/100潔凈室清洗,100%氦檢漏,雙層包裝袋等符合行業(yè)應(yīng)用要求的特性。
帶簧片開關(guān)的 Ashcroft? 50 mm HPS 超高純壓力表提供不銹鋼結(jié)構(gòu)和接液組件?;善_關(guān)功能通過啟動觸發(fā)警報或過程條件變化的內(nèi)部開關(guān)來提供額外的安全功能。
雅斯科與客戶同行
起始于1852年的Ashcroft(雅斯科)公司,在全球布局制造基地,致力于結(jié)合應(yīng)用需求,為本地客戶提供專業(yè)的產(chǎn)品與便捷的服務(wù),幫助客戶保護(hù)流程,保護(hù)人員安全,降低使用成本。
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