凱福 | 半導體清洗段案例分析
2024/3/20 16:41:55
【應用案例】
半導體行業(yè)EtherCAT總線驅控一體轉臺應用
凱?？萍坚槍尉Ч杵圃烨逑垂に囂岢隽蓑寗悠?一體式旋轉平臺的方案。具有速度波動平穩(wěn)，體積尺寸小等特點。
作為半導體制造工藝中的重要一環(huán)，單晶硅硅片制造工藝尤為重要。多晶硅片經(jīng)過切片、倒角、研磨、表面處理、拋光、外延等不同工序加工后，表面已經(jīng)受到嚴重的玷污，因此有一個很重要的工藝段便是清洗，其目的就是為了去除硅片表面顆粒、金屬離子以及有機物等污染。
凱?？萍坚槍尉Ч杵圃烨逑垂に囂岢隽薙SDC集成式EtherCAT總線驅動器+YKW系列一體式轉臺的方案。具有尺寸更小，速度波動平穩(wěn)等特點。
工藝流程圖
案例展示
方案優(yōu)勢
驅控一體尺寸更小
速度更穩(wěn)
審核編輯(
李娜
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