成功案例|格創(chuàng)東智AOI檢測設備助力頭部硅片廠實現(xiàn)生產(chǎn)全流程自動化質(zhì)檢
項目背景
國內(nèi)頭部半導體材料廠,專注于半導體硅片及其延伸產(chǎn)業(yè)領域的研發(fā)和制造,堅持以創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展,為全球客戶提供全產(chǎn)品解決方案。
項目挑戰(zhàn)
眾所周知,硅片是生產(chǎn)集成電路、分立器件、傳感器等半導體產(chǎn)品的關鍵材料,是半導體產(chǎn)業(yè)鏈基礎性的一環(huán)。但在硅片生產(chǎn)過程中,伴隨復雜工藝流程產(chǎn)生的缺陷種類多且復雜,多數(shù)工廠采用人工目檢方式進行外觀檢測,而人工目檢會隨著產(chǎn)能的提升和工藝能力要求的提高產(chǎn)生諸多弊端:
判定標準不統(tǒng)一,檢測效率低下 質(zhì)檢人員流動性大,培訓周期長 無留檔記錄,無法追溯歷史數(shù)據(jù) 缺陷種類多,無法量化缺陷統(tǒng)計數(shù)據(jù) 無法實時監(jiān)控和反饋數(shù)據(jù),缺少工藝異常鎖定功能 1)產(chǎn)品外觀缺陷檢測:通過機器視覺獲取產(chǎn)品表面特征圖像,對圖像中的缺陷進行精準定位抓取,并進行精準識別與分類; 2)數(shù)據(jù)統(tǒng)計分析:分析產(chǎn)品缺陷分類占比,準確定位缺陷位置信息,有效識別生產(chǎn)工藝改善方向;批量統(tǒng)計分析缺陷變化規(guī)律,定位缺陷產(chǎn)生原因及工藝,實時檢測設備及工藝性能波動情況;結合生產(chǎn)過程中出現(xiàn)的缺陷數(shù)據(jù)和趨勢信息,對改善制造工藝、優(yōu)化生產(chǎn)流程進行缺陷根因分析; 3)自適應缺陷識別:通過自適應成像配置調(diào)節(jié)及多種成像方式,結合無監(jiān)督遷移學習的人工智能算法,對新形態(tài)缺陷不論大小以及形態(tài)均實現(xiàn)自適應缺陷檢出。并配合自動化質(zhì)量監(jiān)控對設備問題進行報警。 項目成果 通過自動化檢測設備替代原有人工目檢,10秒檢測一塊硅片,檢測效率大幅提升,滿足高產(chǎn)能生產(chǎn)需求;1個人可以同時維護多臺設備,大幅降低了人力投入,同時縮短了人工培訓周期。 2、缺陷檢測準確率高達99% 通過自適應高分辨率成像穩(wěn)定獲取產(chǎn)品圖像特征,并結合機器視覺建立統(tǒng)一的缺陷檢測規(guī)范,有效提升了產(chǎn)品缺陷檢測的穩(wěn)定性以及準確性。 3、出貨良率提升20% 在進行缺陷檢測的同時,進行大量數(shù)據(jù)統(tǒng)計分析,有效識別前段工藝生產(chǎn)問題及改善方向,進而促進生產(chǎn)工藝優(yōu)化,結合精準的產(chǎn)品等級劃分,促使產(chǎn)品出貨良率提升。
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