LCI更新?lián)Q代

Gocator? 5500系列3D智能線共焦傳感器

顏值和功能完美融合

內(nèi)置全新的測(cè)量和檢測(cè)軟件，界面友好

亞微米級(jí)別精度

高速、高分辨率，雙軸光學(xué)設(shè)計(jì)

檢測(cè)不同材質(zhì)

同時(shí)掃描多層、透明/半透明、曲面邊緣等表面

讓我們來(lái)聽聽LMI專家怎么說(shuō)??

LMI Technologies打造全球尖端技術(shù)

從鏡面到漫反射材質(zhì)

從透明到半透明材質(zhì)

為消費(fèi)電子，半導(dǎo)體制造等行業(yè)

提供一站式3D在線掃描和檢測(cè)方案

BGA引腳高度及半徑檢測(cè)方案

項(xiàng)目背景

隨著芯片技術(shù)的迭代，芯片產(chǎn)品的尺寸越做越小，引腳數(shù)量在不斷增加，對(duì)芯片檢測(cè)提出更高要求，傳統(tǒng)的人工檢測(cè)和普通的視覺(jué)檢測(cè)方式常常無(wú)法滿足生產(chǎn)需求，采用Gocator 3D智能線共焦傳感器對(duì)BGA引腳高度和半徑以及偏移、漏焊檢測(cè)具有重要意義。

檢測(cè)需求

測(cè)量芯片上引腳到基準(zhǔn)面的高度和引腳的半徑。

測(cè)試方案

由于樣品高度變化范圍較小，使用更窄的Z向景深來(lái)獲取更高的頻率，并且設(shè)置更短的觸發(fā)間隔，實(shí)現(xiàn)更高的掃描速率。由于引腳數(shù)量較多，我們選一排針腳通過(guò)內(nèi)置算法進(jìn)行高度和半徑測(cè)量，并進(jìn)行多次重復(fù)性測(cè)試，確保穩(wěn)定的檢測(cè)結(jié)果。通過(guò)Gocator 3D線共焦傳感器搭載亞微米級(jí)的3D檢測(cè)平臺(tái)，可以滿足檢測(cè)需求。

產(chǎn)品選型

Gocator 5504 3D智能線共焦傳感器

檢測(cè)結(jié)果

Gocator 5504 3D智能線共焦傳感器清晰掃描BGA引腳，獲取引腳高度和半徑點(diǎn)云信息，重復(fù)性在 0.5微米以內(nèi)。

解決方案優(yōu)勢(shì)

Gocator? 5500系列3D線共焦傳感器掃描頻率高、觸發(fā)時(shí)間短，可實(shí)現(xiàn)最高達(dá)16KHz的超快掃描速率，兼容不同尺寸的BGA，并生成高質(zhì)量的掃描圖，成像效果非常好，并且具有極高的重復(fù)性和穩(wěn)定性。Gocator內(nèi)置的軟件可實(shí)時(shí)對(duì)掃描結(jié)果進(jìn)行較平、剖面和引腳輪廓提取等處理，并對(duì)高度和球徑等參數(shù)進(jìn)行計(jì)算，及時(shí)規(guī)避因偏移和漏焊導(dǎo)致的缺陷發(fā)生。

更多Gocator在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

Gocator 3D線共焦技術(shù)提供了一種非接觸式、高性能并且可擴(kuò)展的一站式解決方案，可用于半導(dǎo)體材料、元器件和裝配過(guò)程中的精準(zhǔn)3D測(cè)量&檢測(cè)。更多應(yīng)用包括但不僅限于：

    *有圖案晶圓的大范圍檢測(cè)

    *多基板缺陷檢測(cè)和測(cè)量

    *大型和不規(guī)則形狀基材的高通量缺陷檢測(cè)

    *無(wú)圖案晶圓平面度測(cè)量

    *晶圓翹曲&弓形檢測(cè)

    *晶圓邊緣幾何尺寸測(cè)量和缺陷檢測(cè)

    *整體和局部晶圓形貌測(cè)量

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關(guān)于 LMI Technologies

作為3D掃描和在線檢測(cè)的全球領(lǐng)導(dǎo)者，LMI Technologies 致力于為各個(gè)行業(yè)不同的用戶開發(fā)快速、準(zhǔn)確且可信賴的3D智能檢測(cè)技術(shù)，獲殊榮的LMI公司的FactorySmart? 激光、快照和線共焦傳感器幫助客戶提高生產(chǎn)效率和生產(chǎn)質(zhì)量。和接觸式測(cè)量方式或者2D視覺(jué)系統(tǒng)不同，我們的產(chǎn)品大大消除復(fù)雜性和有效降低實(shí)施成本。

如需了解更多關(guān)于LMI Technologies檢測(cè)解決方案，聯(lián)系我們mkt_china@lmi3d.com或訪問(wèn)www.lmi3d.com探討智能3D技術(shù)的可能性。

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